固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2006年
4期
450-455
,共6页
高勇%张新%刘梦新%安涛%王彩琳%邢昆山
高勇%張新%劉夢新%安濤%王綵琳%邢昆山
고용%장신%류몽신%안도%왕채림%형곤산
绝缘体上的硅%埋层结构%自加热效应%介电常数%高温特性
絕緣體上的硅%埋層結構%自加熱效應%介電常數%高溫特性
절연체상적규%매층결구%자가열효응%개전상수%고온특성
针对目前常规SOI器件高温特性存在的问题,提出了采用等效电容法分析器件自加热效应的新观点,对抑制自加热效应原理进行了新的解析,根据埋层材料的介电常数不同,按等效电容法进行埋层厚度折算.在此基础上,提出了SOI器件的埋层新结构,并从介电常数的角度较好地验证了提出观点的正确性.最后得到,高介电常数等效埋层厚度的减小利于热泄散,高热导率的埋层材料提高了导热能力,在双重因素作用下有效抑制了自加热效应.
針對目前常規SOI器件高溫特性存在的問題,提齣瞭採用等效電容法分析器件自加熱效應的新觀點,對抑製自加熱效應原理進行瞭新的解析,根據埋層材料的介電常數不同,按等效電容法進行埋層厚度摺算.在此基礎上,提齣瞭SOI器件的埋層新結構,併從介電常數的角度較好地驗證瞭提齣觀點的正確性.最後得到,高介電常數等效埋層厚度的減小利于熱洩散,高熱導率的埋層材料提高瞭導熱能力,在雙重因素作用下有效抑製瞭自加熱效應.
침대목전상규SOI기건고온특성존재적문제,제출료채용등효전용법분석기건자가열효응적신관점,대억제자가열효응원리진행료신적해석,근거매층재료적개전상수불동,안등효전용법진행매층후도절산.재차기출상,제출료SOI기건적매층신결구,병종개전상수적각도교호지험증료제출관점적정학성.최후득도,고개전상수등효매층후도적감소리우열설산,고열도솔적매층재료제고료도열능력,재쌍중인소작용하유효억제료자가열효응.
