用卢瑟福背散射/沟道技术研究ZnO/Zn0.9 Mg0.1 O/ZnO异质结的弹性应变
용로슬복배산사/구도기술연구ZnO/Zn0.9 Mg0.1 O/ZnO이질결적탄성응변
Depth-dependent elastic strain in ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO heterostructure studied by Rutherford backscattering/channeling
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2006年 6期 2892-2896 ,共5页

    王坤%姚淑德%侯利娜%丁志博%袁洪涛%杜小龙%薛其坤

    왕곤%요숙덕%후리나%정지박%원홍도%두소룡%설기곤

    异质结%卢瑟福背散射/沟道%弹性应变%ZnMgO 異質結%盧瑟福揹散射/溝道%彈性應變%ZnMgO
    이질결%로슬복배산사/구도%탄성응변%ZnMgO
    利用卢瑟福背散射/沟道技术对射频等离子体辅助分子束外延法生长在蓝宝石衬底上的ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO异质结进行了组分分析,并得到了异质结弹性应变随深度的变化,应变由界面向表面逐渐释放,并由负变正,且在ZnO与Zn0.9Mg0.1O界面处轻微增大.负的应变是由于ZnO与衬底的晶格失配和热失配,而逐渐变为正值是Zn0.9Mg0.1O与ZnO的晶格常数差异及弹性应变的逐渐释放所致.
    이용로슬복배산사/구도기술대사빈등리자체보조분자속외연법생장재람보석츤저상적ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO이질결진행료조분분석,병득도료이질결탄성응변수심도적변화,응변유계면향표면축점석방,병유부변정,차재ZnO여Zn0.9Mg0.1O계면처경미증대.부적응변시유우ZnO여츤저적정격실배화열실배,이축점변위정치시Zn0.9Mg0.1O여ZnO적정격상수차이급탄성응변적축점석방소치.
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