辽宁师范大学学报（自然科学版）
遼寧師範大學學報（自然科學版）
료녕사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
2期
204-206
,共3页
纳米ZnO阵列%化学气相沉积%荧光光谱
納米ZnO陣列%化學氣相沉積%熒光光譜
납미ZnO진렬%화학기상침적%형광광보
使用结构简单的恒温管式炉设备,以ZnO及无定形碳粉末为原料,高纯Ar气为载气,在单晶硅和Al2O3基底上,用化学气相沉积技术,在600～1100℃范围内制备了择优取向的纳米ZnO晶体阵列.用扫描电子显微镜(SEM)和荧光光谱(PL)等方法对ZnO薄膜阵列的结构和性能进行了表征,讨论了生长条件对纳米ZnO晶体阵列性能的影响.
使用結構簡單的恆溫管式爐設備,以ZnO及無定形碳粉末為原料,高純Ar氣為載氣,在單晶硅和Al2O3基底上,用化學氣相沉積技術,在600～1100℃範圍內製備瞭擇優取嚮的納米ZnO晶體陣列.用掃描電子顯微鏡(SEM)和熒光光譜(PL)等方法對ZnO薄膜陣列的結構和性能進行瞭錶徵,討論瞭生長條件對納米ZnO晶體陣列性能的影響.
사용결구간단적항온관식로설비,이ZnO급무정형탄분말위원료,고순Ar기위재기,재단정규화Al2O3기저상,용화학기상침적기술,재600～1100℃범위내제비료택우취향적납미ZnO정체진렬.용소묘전자현미경(SEM)화형광광보(PL)등방법대ZnO박막진렬적결구화성능진행료표정,토론료생장조건대납미ZnO정체진렬성능적영향.
