上海计量测试
上海計量測試
상해계량측시
SHANGHAI MEASUREMENT AND TESTING
2007年
3期
12-14
,共3页
量块%激光干涉仪%传感器%校准
量塊%激光榦涉儀%傳感器%校準
량괴%격광간섭의%전감기%교준
本文介绍了双波长激光量块干涉仪中使用的温度、湿度和气压传感器,描述了其工作原理、设计方案、测量不确定度以及校准方法.这些传感器同样可用于其他高准确度长度测量的激光干涉系统中.
本文介紹瞭雙波長激光量塊榦涉儀中使用的溫度、濕度和氣壓傳感器,描述瞭其工作原理、設計方案、測量不確定度以及校準方法.這些傳感器同樣可用于其他高準確度長度測量的激光榦涉繫統中.
본문개소료쌍파장격광량괴간섭의중사용적온도、습도화기압전감기,묘술료기공작원리、설계방안、측량불학정도이급교준방법.저사전감기동양가용우기타고준학도장도측량적격광간섭계통중.