光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2007年
11期
1997-2002
,共6页
光学测量%表面形貌%实时测量%正弦相位调制干涉仪%激光二极管%图像传感器
光學測量%錶麵形貌%實時測量%正絃相位調製榦涉儀%激光二極管%圖像傳感器
광학측량%표면형모%실시측량%정현상위조제간섭의%격광이겁관%도상전감기
表面形貌干涉测量技术是一种高精度的非接触式测量技术,在工业生产和科学研究中具有广泛的应用.提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉测量新技术.该技术用激光二极管作光源,用自制的高速图像传感器探测干涉信号,通过信号处理电路实时解相得到被测表面所对应的相位分布,实时分析相位获得物体表面形貌.该技术消除了光强和部分外界干扰的影响,提高了系统的测量精度.楔形光学平板表面形貌的测量结果表明,测量点为60×60个的情况下,测量时间小于8.2 ms,重复测量精度(RMS)为4.3 nm.
錶麵形貌榦涉測量技術是一種高精度的非接觸式測量技術,在工業生產和科學研究中具有廣汎的應用.提齣一種實時測量錶麵形貌的正絃相位調製榦涉測量新技術.該技術用激光二極管作光源,用自製的高速圖像傳感器探測榦涉信號,通過信號處理電路實時解相得到被測錶麵所對應的相位分佈,實時分析相位穫得物體錶麵形貌.該技術消除瞭光彊和部分外界榦擾的影響,提高瞭繫統的測量精度.楔形光學平闆錶麵形貌的測量結果錶明,測量點為60×60箇的情況下,測量時間小于8.2 ms,重複測量精度(RMS)為4.3 nm.
표면형모간섭측량기술시일충고정도적비접촉식측량기술,재공업생산화과학연구중구유엄범적응용.제출일충실시측량표면형모적정현상위조제간섭측량신기술.해기술용격광이겁관작광원,용자제적고속도상전감기탐측간섭신호,통과신호처리전로실시해상득도피측표면소대응적상위분포,실시분석상위획득물체표면형모.해기술소제료광강화부분외계간우적영향,제고료계통적측량정도.설형광학평판표면형모적측량결과표명,측량점위60×60개적정황하,측량시간소우8.2 ms,중복측량정도(RMS)위4.3 nm.
