东北大学学报（自然科学版）
東北大學學報（自然科學版）
동북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHEASTERN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE）
2008年
7期
1049-1052
,共4页
张以忱%巴德纯%颜云辉%马胜歌
張以忱%巴德純%顏雲輝%馬勝歌
장이침%파덕순%안운휘%마성가
Ti-N-C薄膜%非平衡磁控溅射%中频溅射靶%晶体结构%离子束辅助沉积
Ti-N-C薄膜%非平衡磁控濺射%中頻濺射靶%晶體結構%離子束輔助沉積
Ti-N-C박막%비평형자공천사%중빈천사파%정체결구%리자속보조침적
采用霍尔离子源辅助中频非平衡磁控溅射技术,通过改变工作气氛、偏压模式、溅射电流以及辅助离子束电流,在不锈钢材料基体上制备了Ti/TiN/Ti(C,N) 硬质耐磨损膜层.对薄膜的颜色、晶体结构、膜基结合力等性能进行了检测分析.结果表明:膜层的颜色对工作气氛非常敏感,反应溅射中工作气氛的微小变化会引起表面膜层颜色很大的变化.在正常的反应气体进气量范围内和较小的基体偏压下,薄膜的晶体结构没有明显的择优取向.但是反应气体的过量通入会使薄膜的晶体结构出现晶面择优取向趋势.非平衡磁控溅射成膜技术对薄膜晶体结构的择优取向影响并不是很大.在镀膜过程中施加霍尔电流,可以有效地增加膜基结合力.
採用霍爾離子源輔助中頻非平衡磁控濺射技術,通過改變工作氣氛、偏壓模式、濺射電流以及輔助離子束電流,在不鏽鋼材料基體上製備瞭Ti/TiN/Ti(C,N) 硬質耐磨損膜層.對薄膜的顏色、晶體結構、膜基結閤力等性能進行瞭檢測分析.結果錶明:膜層的顏色對工作氣氛非常敏感,反應濺射中工作氣氛的微小變化會引起錶麵膜層顏色很大的變化.在正常的反應氣體進氣量範圍內和較小的基體偏壓下,薄膜的晶體結構沒有明顯的擇優取嚮.但是反應氣體的過量通入會使薄膜的晶體結構齣現晶麵擇優取嚮趨勢.非平衡磁控濺射成膜技術對薄膜晶體結構的擇優取嚮影響併不是很大.在鍍膜過程中施加霍爾電流,可以有效地增加膜基結閤力.
채용곽이리자원보조중빈비평형자공천사기술,통과개변공작기분、편압모식、천사전류이급보조리자속전류,재불수강재료기체상제비료Ti/TiN/Ti(C,N) 경질내마손막층.대박막적안색、정체결구、막기결합력등성능진행료검측분석.결과표명:막층적안색대공작기분비상민감,반응천사중공작기분적미소변화회인기표면막층안색흔대적변화.재정상적반응기체진기량범위내화교소적기체편압하,박막적정체결구몰유명현적택우취향.단시반응기체적과량통입회사박막적정체결구출현정면택우취향추세.비평형자공천사성막기술대박막정체결구적택우취향영향병불시흔대.재도막과정중시가곽이전류,가이유효지증가막기결합력.
