计算机工程
計算機工程
계산궤공정
COMPUTER ENGINEERING
2008年
15期
226-228
,共3页
周娴玮%方勇纯%董晓坤%张玉东
週嫻瑋%方勇純%董曉坤%張玉東
주한위%방용순%동효곤%장옥동
原子力显微镜%RTLinux系统%反馈控制
原子力顯微鏡%RTLinux繫統%反饋控製
원자력현미경%RTLinux계통%반궤공제
为了提高原子力显微镜(AFM)的测量性能,利用RTLinux良好的实时性,设计了一种开放式的反馈控制平台,完成了基于RTLinux的AFM实时反馈控制系统的软硬件设计,并在PC上具体实现这种实时反馈系统.测试结果表明,该系统能较好地实现AFM在Z方向上的实时反馈控制.利用该平台良好的开放性,可以将各种先进的控制方法应用于AFM系统中,以提高原子力显微镜的扫描速度和精度.此外,该基于RT-Linux的AFM系统还可以扩展成为一个开放式的纳米操作平台.
為瞭提高原子力顯微鏡(AFM)的測量性能,利用RTLinux良好的實時性,設計瞭一種開放式的反饋控製平檯,完成瞭基于RTLinux的AFM實時反饋控製繫統的軟硬件設計,併在PC上具體實現這種實時反饋繫統.測試結果錶明,該繫統能較好地實現AFM在Z方嚮上的實時反饋控製.利用該平檯良好的開放性,可以將各種先進的控製方法應用于AFM繫統中,以提高原子力顯微鏡的掃描速度和精度.此外,該基于RT-Linux的AFM繫統還可以擴展成為一箇開放式的納米操作平檯.
위료제고원자력현미경(AFM)적측량성능,이용RTLinux량호적실시성,설계료일충개방식적반궤공제평태,완성료기우RTLinux적AFM실시반궤공제계통적연경건설계,병재PC상구체실현저충실시반궤계통.측시결과표명,해계통능교호지실현AFM재Z방향상적실시반궤공제.이용해평태량호적개방성,가이장각충선진적공제방법응용우AFM계통중,이제고원자력현미경적소묘속도화정도.차외,해기우RT-Linux적AFM계통환가이확전성위일개개방식적납미조작평태.
