光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
48-54
,共7页
龚小竞%褚家如%王翔%黄文浩%杨建军%张铁群%朱晓农
龔小競%褚傢如%王翔%黃文浩%楊建軍%張鐵群%硃曉農
공소경%저가여%왕상%황문호%양건군%장철군%주효농
飞秒激光%多次聚焦%并行加工%光波导
飛秒激光%多次聚焦%併行加工%光波導
비초격광%다차취초%병행가공%광파도
提出了利用飞秒激光的多次聚焦现象进行微光学器件并行加工的方法.通过实验总结了光强和聚焦深度对该方法的影响规律,并实现了用该方法并行加工多个微光波导.对多个微光波导的间距实现了控制,其间距范围为2～5 μm.将并行加工出的光波导与单个焦点加工出的光波导做了对比,并行加工出的光波导形貌上比较接近单个焦点加工出的光波导,但其传输性能还有一定的差距.用超强光引起的自聚焦对这种多次聚焦做了理论解释,并且针对光强和聚焦深度对多次聚焦的影响做了进一步的理论分析.结果表明,这种方法相对以往的并行加工,实现简单,对加工结果的控制相对灵活.该方法利用的是超强激光特有的非线性现象,为飞秒激光的高效率加工开拓了方向.
提齣瞭利用飛秒激光的多次聚焦現象進行微光學器件併行加工的方法.通過實驗總結瞭光彊和聚焦深度對該方法的影響規律,併實現瞭用該方法併行加工多箇微光波導.對多箇微光波導的間距實現瞭控製,其間距範圍為2～5 μm.將併行加工齣的光波導與單箇焦點加工齣的光波導做瞭對比,併行加工齣的光波導形貌上比較接近單箇焦點加工齣的光波導,但其傳輸性能還有一定的差距.用超彊光引起的自聚焦對這種多次聚焦做瞭理論解釋,併且針對光彊和聚焦深度對多次聚焦的影響做瞭進一步的理論分析.結果錶明,這種方法相對以往的併行加工,實現簡單,對加工結果的控製相對靈活.該方法利用的是超彊激光特有的非線性現象,為飛秒激光的高效率加工開拓瞭方嚮.
제출료이용비초격광적다차취초현상진행미광학기건병행가공적방법.통과실험총결료광강화취초심도대해방법적영향규률,병실현료용해방법병행가공다개미광파도.대다개미광파도적간거실현료공제,기간거범위위2～5 μm.장병행가공출적광파도여단개초점가공출적광파도주료대비,병행가공출적광파도형모상비교접근단개초점가공출적광파도,단기전수성능환유일정적차거.용초강광인기적자취초대저충다차취초주료이론해석,병차침대광강화취초심도대다차취초적영향주료진일보적이론분석.결과표명,저충방법상대이왕적병행가공,실현간단,대가공결과적공제상대령활.해방법이용적시초강격광특유적비선성현상,위비초격광적고효솔가공개탁료방향.
