CAJ | 학술논문

采用俄罗斯UVN 0.5D2I离子束辅助电弧离子镀沉积设备,在高速钢W18Cr4V基材上沉积TiAlN膜层;利用N离子束对膜层沉积之前的预处理和膜层沉积时的辅助轰击,并用SEM、X射线衍射和力学测试等手段研究了N离子束轰击对膜层表面形貌、相结构、显微硬度影响.结果表明:N离子束的预处理在基材表面形成了一定厚度N的过渡层;N离子束对膜层的辅助轰击,明显地降低了膜层表面"大颗粒"的密度,改善了膜层的表面形貌;同时,形成了由过渡层成分与膜层成分动态混合的扩散层;无N离子轰击时,TiAlN膜层是由(TiAl)N相和Ti2AlN相组成;轰击能量为7.5 keV时,TiAlN膜层也是由(TiAl)N相和Ti2AlN相组成,但(TiAl)N(111)取向减弱,而(200)和(220)取向均增强;Ti2AlN(211)及(301)取向均减弱.N离子束辅助轰击,使膜层的显微硬度由原来的21 GPa提高到25.3 GPa.
채용아라사UVN 0.5D2I리자속보조전호리자도침적설비,재고속강W18Cr4V기재상침적TiAlN막층;이용N리자속대막층침적지전적예처리화막층침적시적보조굉격,병용SEM、X사선연사화역학측시등수단연구료N리자속굉격대막층표면형모、상결구、현미경도영향.결과표명:N리자속적예처리재기재표면형성료일정후도N적과도층;N리자속대막층적보조굉격,명현지강저료막층표면"대과립"적밀도,개선료막층적표면형모;동시,형성료유과도층성분여막층성분동태혼합적확산층;무N리자굉격시,TiAlN막층시유(TiAl)N상화Ti2AlN상조성;굉격능량위7.5 keV시,TiAlN막층야시유(TiAl)N상화Ti2AlN상조성,단(TiAl)N(111)취향감약,이(200)화(220)취향균증강;Ti2AlN(211)급(301)취향균감약.N리자속보조굉격,사막층적현미경도유원래적21 GPa제고도25.3 GPa.