仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
5期
1063-1068
,共6页
齐永岳%刘明%林玉池%付鲁华
齊永嶽%劉明%林玉池%付魯華
제영악%류명%림옥지%부로화
微小力值%电容变化梯度%静电力%电容传感器
微小力值%電容變化梯度%靜電力%電容傳感器
미소력치%전용변화제도%정전력%전용전감기
为实现10-5 N以下微小力值的测量及溯源,提出了一种高精度、可溯源至质量的微小力值测量系统,采用受控静电力发生装置复现微小力值,其基本工作原理是基于一种精密设计的圆柱形电容器,电容器内外电极同轴,外电极固定不动作为参考电极,内电极由弹性机构支撑和导向,通过改变内外电极间的电压产生静电力,从而将力学量追溯至电容及电压等电学量,利用砝码质量与静电力平衡的原理,可以实现微小力值的溯源.实验结果表明:电容变化梯度为0.82 pF/mm,完全可以复现10-6~10-9 N范围内的静电力.
為實現10-5 N以下微小力值的測量及溯源,提齣瞭一種高精度、可溯源至質量的微小力值測量繫統,採用受控靜電力髮生裝置複現微小力值,其基本工作原理是基于一種精密設計的圓柱形電容器,電容器內外電極同軸,外電極固定不動作為參攷電極,內電極由彈性機構支撐和導嚮,通過改變內外電極間的電壓產生靜電力,從而將力學量追溯至電容及電壓等電學量,利用砝碼質量與靜電力平衡的原理,可以實現微小力值的溯源.實驗結果錶明:電容變化梯度為0.82 pF/mm,完全可以複現10-6~10-9 N範圍內的靜電力.
위실현10-5 N이하미소력치적측량급소원,제출료일충고정도、가소원지질량적미소력치측량계통,채용수공정전력발생장치복현미소력치,기기본공작원리시기우일충정밀설계적원주형전용기,전용기내외전겁동축,외전겁고정불동작위삼고전겁,내전겁유탄성궤구지탱화도향,통과개변내외전겁간적전압산생정전력,종이장역학량추소지전용급전압등전학량,이용겁마질량여정전력평형적원리,가이실현미소력치적소원.실험결과표명:전용변화제도위0.82 pF/mm,완전가이복현10-6~10-9 N범위내적정전력.