传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
11期
105-107
,共3页
张宁%牛薇%徐冬%刘其中%汪洋
張寧%牛薇%徐鼕%劉其中%汪洋
장저%우미%서동%류기중%왕양
流量%压力%温度%一体化传感器
流量%壓力%溫度%一體化傳感器
류량%압력%온도%일체화전감기
为了实现多参数综合测量,设计出一种小流量、压力、温度一体化传感器,该传感器主要由敏感元件和调理电路组成,信号输出采用0～5 V模拟输出.对传感器进行各项环境试验,试验结果表明:该传感器流量精度优于3％,压力精度优于0.2％,温度精度优于0.5％,流量热零点漂移小于0.2％ FS/℃,压力热零点漂移小于0.1％ FS/℃,满足使用要求.
為瞭實現多參數綜閤測量,設計齣一種小流量、壓力、溫度一體化傳感器,該傳感器主要由敏感元件和調理電路組成,信號輸齣採用0～5 V模擬輸齣.對傳感器進行各項環境試驗,試驗結果錶明:該傳感器流量精度優于3％,壓力精度優于0.2％,溫度精度優于0.5％,流量熱零點漂移小于0.2％ FS/℃,壓力熱零點漂移小于0.1％ FS/℃,滿足使用要求.
위료실현다삼수종합측량,설계출일충소류량、압력、온도일체화전감기,해전감기주요유민감원건화조리전로조성,신호수출채용0～5 V모의수출.대전감기진행각항배경시험,시험결과표명:해전감기류량정도우우3％,압력정도우우0.2％,온도정도우우0.5％,류량열영점표이소우0.2％ FS/℃,압력열영점표이소우0.1％ FS/℃,만족사용요구.
