红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
12期
2447-2450
,共4页
胡江川%蔡红梅%喙松林%邱服民
鬍江川%蔡紅梅%喙鬆林%邱服民
호강천%채홍매%훼송림%구복민
剩余应力%充氧量%沉积倾角
剩餘應力%充氧量%沉積傾角
잉여응력%충양량%침적경각
为了控制高损伤阈值高反射镜膜层的应力,研究了沉积过程中沉积倾角、充氧量对高、低折射率单层膜应力大小的影响.研究发现这两个参数对控制薄膜应力有很大影响,SiO2薄膜在沉积倾角较小和充氧量增大时应力都逐渐减小,SiO2薄膜应力为压应力；HfO2薄膜在充氧量增大时薄膜应力变小,HfO2薄膜应力为张应力.因此,根据SiO2和HfO2薄膜的应力特性,调整镀膜工艺,实现了高、低折射率膜层之间的应力匹配,控制了反射镜面形；同时,镀制的高反射镜满足高功率激光器损伤阈值的要求.
為瞭控製高損傷閾值高反射鏡膜層的應力,研究瞭沉積過程中沉積傾角、充氧量對高、低摺射率單層膜應力大小的影響.研究髮現這兩箇參數對控製薄膜應力有很大影響,SiO2薄膜在沉積傾角較小和充氧量增大時應力都逐漸減小,SiO2薄膜應力為壓應力；HfO2薄膜在充氧量增大時薄膜應力變小,HfO2薄膜應力為張應力.因此,根據SiO2和HfO2薄膜的應力特性,調整鍍膜工藝,實現瞭高、低摺射率膜層之間的應力匹配,控製瞭反射鏡麵形；同時,鍍製的高反射鏡滿足高功率激光器損傷閾值的要求.
위료공제고손상역치고반사경막층적응력,연구료침적과정중침적경각、충양량대고、저절사솔단층막응력대소적영향.연구발현저량개삼수대공제박막응력유흔대영향,SiO2박막재침적경각교소화충양량증대시응력도축점감소,SiO2박막응력위압응력；HfO2박막재충양량증대시박막응력변소,HfO2박막응력위장응력.인차,근거SiO2화HfO2박막적응력특성,조정도막공예,실현료고、저절사솔막층지간적응력필배,공제료반사경면형；동시,도제적고반사경만족고공솔격광기손상역치적요구.
