纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2012年
2期
113-119
,共7页
MEMS%微泵%微阀%SU-8
MEMS%微泵%微閥%SU-8
MEMS%미빙%미벌%SU-8
为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题,利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵,其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8构成.从理论上,分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能以及结构参数对微泵工作性能的影响进行了分析.综合两类微泵特点,提出了气液两用微泵设计方案、工艺流程及其优化方案.在不同驱动电压条件下测试了具有不同形状泵腔、不同阀口尺寸和不同类型阀片结构的微泵.实验结果表明,该微泵可用于气体和液体介质,气、液体的最大流量分别达到53.6mL/min和1 280μL/min；泵腔高度影响到微泵的体积压缩比,是影响微泵自吸的一个重要因素.该泵具有结构简单、自吸、低成本、易于加工及操作方便的特点.
為解決微泵自吸睏難、難以實現流速精確控製等問題,利用MEMS技術研製齣具有三明治結構和兩被動閥的壓電驅動微泵,其中泵腔、泵膜和閥片分彆由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8構成.從理論上,分彆對氣體和液體微泵的工作原理、被動閥性能以及結構參數對微泵工作性能的影響進行瞭分析.綜閤兩類微泵特點,提齣瞭氣液兩用微泵設計方案、工藝流程及其優化方案.在不同驅動電壓條件下測試瞭具有不同形狀泵腔、不同閥口呎吋和不同類型閥片結構的微泵.實驗結果錶明,該微泵可用于氣體和液體介質,氣、液體的最大流量分彆達到53.6mL/min和1 280μL/min；泵腔高度影響到微泵的體積壓縮比,是影響微泵自吸的一箇重要因素.該泵具有結構簡單、自吸、低成本、易于加工及操作方便的特點.
위해결미빙자흡곤난、난이실현류속정학공제등문제,이용MEMS기술연제출구유삼명치결구화량피동벌적압전구동미빙,기중빙강、빙막화벌편분별유규、취이갑기규양완(PDMS)화SU-8구성.종이론상,분별대기체화액체미빙적공작원리、피동벌성능이급결구삼수대미빙공작성능적영향진행료분석.종합량류미빙특점,제출료기액량용미빙설계방안、공예류정급기우화방안.재불동구동전압조건하측시료구유불동형상빙강、불동벌구척촌화불동류형벌편결구적미빙.실험결과표명,해미빙가용우기체화액체개질,기、액체적최대류량분별체도53.6mL/min화1 280μL/min；빙강고도영향도미빙적체적압축비,시영향미빙자흡적일개중요인소.해빙구유결구간단、자흡、저성본、역우가공급조작방편적특점.
