非导电样品荷电效应的吸收电流评价方法
비도전양품하전효응적흡수전류평개방법
Evaluation of charging effect on the non-conductive specimens by absorbe current measurement
  • 万方数据
    电子显微学报 전자현미학보
    JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
    2004年 3期 265-268 ,共4页

    吉元%张虹%史佳新%何焱%吕长志%徐学东%张隐奇%郭汉生

    길원%장홍%사가신%하염%려장지%서학동%장은기%곽한생

    扫描电镜(SEM)%荷电效应%吸收电流%非导电材料 掃描電鏡(SEM)%荷電效應%吸收電流%非導電材料
    소묘전경(SEM)%하전효응%흡수전류%비도전재료
    在扫描电镜(SEM)中,通过记录和实时处理电子束辐照样品过程中产生的吸收电流La,评价非导电样品的荷电效应.对于非导电样品,La的绝对值很小,且变化幅度很大,这是电荷在非导电样品表面被捕获、积累和释放过程的直接反映.此外,La还可用来评价荷电补偿(改变环境压力、改变成像参数及对样品表面进行导电处理)的效果.
    재소묘전경(SEM)중,통과기록화실시처리전자속복조양품과정중산생적흡수전류La,평개비도전양품적하전효응.대우비도전양품,La적절대치흔소,차변화폭도흔대,저시전하재비도전양품표면피포획、적루화석방과정적직접반영.차외,La환가용래평개하전보상(개변배경압력、개변성상삼수급대양품표면진행도전처리)적효과.
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