真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
5期
344-349
,共6页
张虹%吉元%权雪玲%徐学东%张隐奇%郭汉生
張虹%吉元%權雪玲%徐學東%張隱奇%郭漢生
장홍%길원%권설령%서학동%장은기%곽한생
荷电效应%氧环境%环境扫描电镜%Al2O3%Al(OH)3
荷電效應%氧環境%環境掃描電鏡%Al2O3%Al(OH)3
하전효응%양배경%배경소묘전경%Al2O3%Al(OH)3
在环境扫描电镜(ESEM)中注入氧气,减少和消除绝缘样品表面在电子束辐照下产生的荷电效应.二次电子像的观察显示,在压力为130Pa～600Pa的ESEM中,氧气对Al2O3、Al(OH)3等氧化物、氢氧化物及生物样品的荷电补偿效果,优于常用的水蒸汽环境.通过吸收电流Ia的实时测试,评价了氧环境的荷电补偿效果.采用氧气减少表面荷电基于一个新的概念:在电子束的辐照下,电子受激解吸可造成表面氧亏损,使能带产生畸变,形成捕获电子的势阱.氧环境提供的氧离子可实现对氧空位的修复,从而消除了荷电效应.
在環境掃描電鏡(ESEM)中註入氧氣,減少和消除絕緣樣品錶麵在電子束輻照下產生的荷電效應.二次電子像的觀察顯示,在壓力為130Pa～600Pa的ESEM中,氧氣對Al2O3、Al(OH)3等氧化物、氫氧化物及生物樣品的荷電補償效果,優于常用的水蒸汽環境.通過吸收電流Ia的實時測試,評價瞭氧環境的荷電補償效果.採用氧氣減少錶麵荷電基于一箇新的概唸:在電子束的輻照下,電子受激解吸可造成錶麵氧虧損,使能帶產生畸變,形成捕穫電子的勢阱.氧環境提供的氧離子可實現對氧空位的脩複,從而消除瞭荷電效應.
재배경소묘전경(ESEM)중주입양기,감소화소제절연양품표면재전자속복조하산생적하전효응.이차전자상적관찰현시,재압력위130Pa～600Pa적ESEM중,양기대Al2O3、Al(OH)3등양화물、경양화물급생물양품적하전보상효과,우우상용적수증기배경.통과흡수전류Ia적실시측시,평개료양배경적하전보상효과.채용양기감소표면하전기우일개신적개념:재전자속적복조하,전자수격해흡가조성표면양우손,사능대산생기변,형성포획전자적세정.양배경제공적양리자가실현대양공위적수복,종이소제료하전효응.
