光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2006年
4期
635-640
,共6页
华顺明%张宏壮%程光明%范尊强%刘建芳
華順明%張宏壯%程光明%範尊彊%劉建芳
화순명%장굉장%정광명%범존강%류건방
压电双晶片%精密运动平台%粘滑效应%微操作%微小机器人
壓電雙晶片%精密運動平檯%粘滑效應%微操作%微小機器人
압전쌍정편%정밀운동평태%점활효응%미조작%미소궤기인
提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案,该平台可实现水平面内的两自由度精密运动.在对粘滑型运动机构的工作原理进行分析的基础上,建立了压电式粘滑机构的动力学模型并进行了仿真分析,设计研制了试验样机,并从运动性能和承载能力两个方面对样机进行了实验研究.实验结果表明,设计的压电薄膜型精密运动平台结构简单、体积小、质量轻、步距稳定且行程大,电压低于30 V驱动时,步距误差不超过0.5μm,承载能力约为自身质量的7～8倍.
提齣瞭一種利用雙壓電晶片驅動小型平檯的研究方案,該平檯可實現水平麵內的兩自由度精密運動.在對粘滑型運動機構的工作原理進行分析的基礎上,建立瞭壓電式粘滑機構的動力學模型併進行瞭倣真分析,設計研製瞭試驗樣機,併從運動性能和承載能力兩箇方麵對樣機進行瞭實驗研究.實驗結果錶明,設計的壓電薄膜型精密運動平檯結構簡單、體積小、質量輕、步距穩定且行程大,電壓低于30 V驅動時,步距誤差不超過0.5μm,承載能力約為自身質量的7～8倍.
제출료일충이용쌍압전정편구동소형평태적연구방안,해평태가실현수평면내적량자유도정밀운동.재대점활형운동궤구적공작원리진행분석적기출상,건립료압전식점활궤구적동역학모형병진행료방진분석,설계연제료시험양궤,병종운동성능화승재능력량개방면대양궤진행료실험연구.실험결과표명,설계적압전박막형정밀운동평태결구간단、체적소、질량경、보거은정차행정대,전압저우30 V구동시,보거오차불초과0.5μm,승재능력약위자신질량적7～8배.
