非晶碳化硅材料与光学微腔的制备与发光
비정탄화규재료여광학미강적제비여발광
Preparation and Luminescence of Amorphous SiC Material and Its Optical Microcavity
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2007年 1期 121-125 ,共5页

    陈德媛%钱波%徐骏%梅嘉欣%陈三%李伟%黄信凡%陈坤基

    진덕원%전파%서준%매가흔%진삼%리위%황신범%진곤기

    非晶碳化硅%光致发光%微结构%光学微腔 非晶碳化硅%光緻髮光%微結構%光學微腔
    비정탄화규%광치발광%미결구%광학미강
    利用等离子体化学气相沉积技术在100 ℃的衬底温度下,制备了具有不同组分比的系列非晶碳化硅薄膜.结合傅里叶变换红外光谱与喇曼光谱对所制备的薄膜微结构进行了表征与分析,同时,对具有不同组分比的非晶碳化硅薄膜室温光致发光性质进行了系统的研究.结果表明在Ar+离子激光和 Xe灯紫外光的激发下,不同组分的样品显示出不同的光致发光特性,并对样品的发光特性与其微结构的联系进行了讨论.在此基础上,用碳化硅薄膜设计和制备了全固体光学微腔,研究了微腔对碳化硅发光行为的调制作用.
    이용등리자체화학기상침적기술재100 ℃적츤저온도하,제비료구유불동조분비적계렬비정탄화규박막.결합부리협변환홍외광보여나만광보대소제비적박막미결구진행료표정여분석,동시,대구유불동조분비적비정탄화규박막실온광치발광성질진행료계통적연구.결과표명재Ar+리자격광화 Xe등자외광적격발하,불동조분적양품현시출불동적광치발광특성,병대양품적발광특성여기미결구적련계진행료토론.재차기출상,용탄화규박막설계화제비료전고체광학미강,연구료미강대탄화규발광행위적조제작용.
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