半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2008年
2期
226-230
,共5页
椭偏光谱法%有效介质近似%Si薄膜%拟合
橢偏光譜法%有效介質近似%Si薄膜%擬閤
타편광보법%유효개질근사%Si박막%의합
椭圆偏振光谱法(简称椭偏法)是一种常见的薄膜光学参数测试方法,具有灵敏度高、测试精度高且对测试样品无损伤等优点.首先系统介绍了有效介质近似(EMA)理论模型的基本原理,在此基础上,采用EMA模型对制备的Si薄膜样品的椭偏光谱测试结果进行了计算机拟合.结果表明,当设定样品结构为多晶、非晶和孔隙的混合物时,计算结果与测试数据完全吻合,由此得到了样品的微观结构信息.
橢圓偏振光譜法(簡稱橢偏法)是一種常見的薄膜光學參數測試方法,具有靈敏度高、測試精度高且對測試樣品無損傷等優點.首先繫統介紹瞭有效介質近似(EMA)理論模型的基本原理,在此基礎上,採用EMA模型對製備的Si薄膜樣品的橢偏光譜測試結果進行瞭計算機擬閤.結果錶明,噹設定樣品結構為多晶、非晶和孔隙的混閤物時,計算結果與測試數據完全吻閤,由此得到瞭樣品的微觀結構信息.
타원편진광보법(간칭타편법)시일충상견적박막광학삼수측시방법,구유령민도고、측시정도고차대측시양품무손상등우점.수선계통개소료유효개질근사(EMA)이론모형적기본원리,재차기출상,채용EMA모형대제비적Si박막양품적타편광보측시결과진행료계산궤의합.결과표명,당설정양품결구위다정、비정화공극적혼합물시,계산결과여측시수거완전문합,유차득도료양품적미관결구신식.
