工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2008年
9期
22-24
,共3页
FCVA%显微硬度%XRD%摩擦磨损%结合力
FCVA%顯微硬度%XRD%摩抆磨損%結閤力
FCVA%현미경도%XRD%마찰마손%결합력
采用磁过滤阴极真空弧源(FCVA)沉积技术,通过改变氮气流量在硬质合金基体上沉积了TiAlN薄膜,用显微硬度计测定了TiAlN薄膜的硬度和厚度;采用X射线衍射(XRD)分析技术进行了TiAlN薄膜的相分析;并进行了摩擦磨损试验和对基体与薄膜的结合力进行定性的分析.结果表明:TiAlN薄膜厚度在450～520nm之间;最高硬度为2754Hv,对应氮气分压为N2分压在8.0×10-Pa～1.1×10-1Pa;薄膜中主要存在Ti2AlN、Ti2N与TiN相.
採用磁過濾陰極真空弧源(FCVA)沉積技術,通過改變氮氣流量在硬質閤金基體上沉積瞭TiAlN薄膜,用顯微硬度計測定瞭TiAlN薄膜的硬度和厚度;採用X射線衍射(XRD)分析技術進行瞭TiAlN薄膜的相分析;併進行瞭摩抆磨損試驗和對基體與薄膜的結閤力進行定性的分析.結果錶明:TiAlN薄膜厚度在450～520nm之間;最高硬度為2754Hv,對應氮氣分壓為N2分壓在8.0×10-Pa～1.1×10-1Pa;薄膜中主要存在Ti2AlN、Ti2N與TiN相.
채용자과려음겁진공호원(FCVA)침적기술,통과개변담기류량재경질합금기체상침적료TiAlN박막,용현미경도계측정료TiAlN박막적경도화후도;채용X사선연사(XRD)분석기술진행료TiAlN박막적상분석;병진행료마찰마손시험화대기체여박막적결합력진행정성적분석.결과표명:TiAlN박막후도재450～520nm지간;최고경도위2754Hv,대응담기분압위N2분압재8.0×10-Pa～1.1×10-1Pa;박막중주요존재Ti2AlN、Ti2N여TiN상.
