纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
90-94
,共5页
王权岱%段玉岗%卢秉恒%杨连发
王權岱%段玉崗%盧秉恆%楊連髮
왕권대%단옥강%로병항%양련발
压印模板%湿法刻蚀%刻蚀速率模型%尺寸控制
壓印模闆%濕法刻蝕%刻蝕速率模型%呎吋控製
압인모판%습법각식%각식속솔모형%척촌공제
为了提高基于湿法刻蚀压印模板制作工艺中刻蚀图形尺寸的控制精度,研究了玻璃湿法刻蚀的反应动力学过程,得到刻蚀剂中(HF)2为决定反应速率的主要活性成分的结论;结合实验建立了合理的刻蚀速率模型.采用不同氢氟酸浓度的刻蚀液进行了实验,实测刻蚀速率与理论计算数值的对比结果表明模型预测精度达到96%以上.基于该模型刻蚀深度确定刻蚀时间进行了压印模板制作的实验,制作了图形特征尺寸为15 μm、刻蚀深度为8 μm的压印模板.对模板图形的测量结果表明,通过该模型预测的尺寸误差仅为0.05 μm.
為瞭提高基于濕法刻蝕壓印模闆製作工藝中刻蝕圖形呎吋的控製精度,研究瞭玻璃濕法刻蝕的反應動力學過程,得到刻蝕劑中(HF)2為決定反應速率的主要活性成分的結論;結閤實驗建立瞭閤理的刻蝕速率模型.採用不同氫氟痠濃度的刻蝕液進行瞭實驗,實測刻蝕速率與理論計算數值的對比結果錶明模型預測精度達到96%以上.基于該模型刻蝕深度確定刻蝕時間進行瞭壓印模闆製作的實驗,製作瞭圖形特徵呎吋為15 μm、刻蝕深度為8 μm的壓印模闆.對模闆圖形的測量結果錶明,通過該模型預測的呎吋誤差僅為0.05 μm.
위료제고기우습법각식압인모판제작공예중각식도형척촌적공제정도,연구료파리습법각식적반응동역학과정,득도각식제중(HF)2위결정반응속솔적주요활성성분적결론;결합실험건립료합리적각식속솔모형.채용불동경불산농도적각식액진행료실험,실측각식속솔여이론계산수치적대비결과표명모형예측정도체도96%이상.기우해모형각식심도학정각식시간진행료압인모판제작적실험,제작료도형특정척촌위15 μm、각식심도위8 μm적압인모판.대모판도형적측량결과표명,통과해모형예측적척촌오차부위0.05 μm.
