压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
6期
912-914,952
,共4页
李淑红%赵启大%廖继平%田爽
李淑紅%趙啟大%廖繼平%田爽
리숙홍%조계대%료계평%전상
声表面波%气体传感器%延迟线%二氧化氮
聲錶麵波%氣體傳感器%延遲線%二氧化氮
성표면파%기체전감기%연지선%이양화담
介绍了声表面波气体传感器的检测原理.设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度.采用基底为ST切石英延迟线型结构,镀上金属氧化物,测试了对二氧化氮的敏感特性.由于气体和氧化物的相互作用,输出频率和幅度均下降.当把测试箱打开放出气体,频率很快恢复到初始频率点,而幅度基本保持平稳.
介紹瞭聲錶麵波氣體傳感器的檢測原理.設計瞭傳感器的驅動電路,把聲錶麵波器件作為反饋迴路中的一箇感抗元件,使迴路產生振盪,同時檢測輸齣頻率和幅度的變化,比以往單一檢測頻率的變化,提高瞭檢測精度.採用基底為ST切石英延遲線型結構,鍍上金屬氧化物,測試瞭對二氧化氮的敏感特性.由于氣體和氧化物的相互作用,輸齣頻率和幅度均下降.噹把測試箱打開放齣氣體,頻率很快恢複到初始頻率點,而幅度基本保持平穩.
개소료성표면파기체전감기적검측원리.설계료전감기적구동전로,파성표면파기건작위반궤회로중적일개감항원건,사회로산생진탕,동시검측수출빈솔화폭도적변화,비이왕단일검측빈솔적변화,제고료검측정도.채용기저위ST절석영연지선형결구,도상금속양화물,측시료대이양화담적민감특성.유우기체화양화물적상호작용,수출빈솔화폭도균하강.당파측시상타개방출기체,빈솔흔쾌회복도초시빈솔점,이폭도기본보지평은.
