红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2011年
12期
695-698
,共4页
分束镜%电子束蒸发物理气相沉积%硒化锌%锗
分束鏡%電子束蒸髮物理氣相沉積%硒化鋅%鍺
분속경%전자속증발물리기상침적%서화자%타
以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3～13 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge.利用了Spectntm GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试结果表明该分束镜的平均透过率约为50％,具有宽带的分束特性,与设计结果基本相符.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该分束器可以应用于可靠性要求比较高的环境中.
以ZnSe為基底設計瞭一種寬帶紅外分束鏡,透射和反射比為50/50,工作波長可達到3～13 μm,工藝實現採用瞭電子束蒸髮物理氣相沉積的方法,薄膜材料僅含有ZnSe和Ge.利用瞭Spectntm GX紅外傅立葉變換光譜儀對該分束鏡的透過率進行測量,測試結果錶明該分束鏡的平均透過率約為50％,具有寬帶的分束特性,與設計結果基本相符.環境測試錶明:薄膜具有良好的穩定性和牢固度.該分束器可以應用于可靠性要求比較高的環境中.
이ZnSe위기저설계료일충관대홍외분속경,투사화반사비위50/50,공작파장가체도3～13 μm,공예실현채용료전자속증발물리기상침적적방법,박막재료부함유ZnSe화Ge.이용료Spectntm GX홍외부립협변환광보의대해분속경적투과솔진행측량,측시결과표명해분속경적평균투과솔약위50％,구유관대적분속특성,여설계결과기본상부.배경측시표명:박막구유량호적은정성화뢰고도.해분속기가이응용우가고성요구비교고적배경중.
