功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2012年
2期
138-141
,共4页
肖立娟%李长山%郝嘉伟%赵鹤平
肖立娟%李長山%郝嘉偉%趙鶴平
초립연%리장산%학가위%조학평
AZO薄膜%缓冲层%晶体结构%光电性能
AZO薄膜%緩遲層%晶體結構%光電性能
AZO박막%완충층%정체결구%광전성능
本文采用射频反应磁控溅射法在玻璃基底上分别以Al2O3和AZO为缓冲层制备ZnO:Al (AZO)薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计等方法对薄膜的结构和光电性能进行表征.XRD和SEM的分析结果表明,在Al2O3和AZO缓冲层上生长的AZO薄膜均具有较好的C轴择优取向,薄膜表面光滑平整,薄膜的结晶质量得到改善;透射光谱表明所有样品在可见光范围内的透过率均超过80％;薄膜的导电性能得到提高.
本文採用射頻反應磁控濺射法在玻璃基底上分彆以Al2O3和AZO為緩遲層製備ZnO:Al (AZO)薄膜,利用X射線衍射儀(XRD)、掃描電鏡(SEM)、紫外-可見分光光度計等方法對薄膜的結構和光電性能進行錶徵.XRD和SEM的分析結果錶明,在Al2O3和AZO緩遲層上生長的AZO薄膜均具有較好的C軸擇優取嚮,薄膜錶麵光滑平整,薄膜的結晶質量得到改善;透射光譜錶明所有樣品在可見光範圍內的透過率均超過80％;薄膜的導電性能得到提高.
본문채용사빈반응자공천사법재파리기저상분별이Al2O3화AZO위완충층제비ZnO:Al (AZO)박막,이용X사선연사의(XRD)、소묘전경(SEM)、자외-가견분광광도계등방법대박막적결구화광전성능진행표정.XRD화SEM적분석결과표명,재Al2O3화AZO완충층상생장적AZO박막균구유교호적C축택우취향,박막표면광활평정,박막적결정질량득도개선;투사광보표명소유양품재가견광범위내적투과솔균초과80％;박막적도전성능득도제고.
