MOCVD法生长SAWF用ZnO/Diamond/Si多层结构
MOCVD법생장SAWF용ZnO/Diamond/Si다층결구
ZnO/Diamond/Si Multi-layer Films Grown by MOCVD for Surface Acoustic Wave (SAW) Devices
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2004年 3期 313-316 ,共4页

    赵佰军%杨洪军%王新强%杨晓天%刘大力%马艳%张源涛%刘博阳%杨天鹏%杜国同

    조백군%양홍군%왕신강%양효천%류대력%마염%장원도%류박양%양천붕%두국동

    金属有机化学气相沉积%声表面波薄膜%X射线衍射%扫描探针显微镜 金屬有機化學氣相沉積%聲錶麵波薄膜%X射線衍射%掃描探針顯微鏡
    금속유궤화학기상침적%성표면파박막%X사선연사%소묘탐침현미경
    使用等离子体辅助MOCVD系统在金刚石/硅衬底上成功地制备了氧化锌多层薄膜材料,通过两步生长法对薄膜质量进行了优化.XRD测试显示优化后的样品具有c轴的择优取向生长,PL谱测试表明样品经优化后不仅深能级发射峰消失,同时紫外发射峰增强.对优化后的样品的表面测试显示出较低的表面粗糙度.比较氧化锌多层薄膜结构的声表面波频散曲线,ZnO薄膜声表面滤波器受膜厚和衬底材料的影响较大.当ZnO薄膜较薄时,在它上面的传播速度将与衬底上的传播速度接近,与其他衬底上生长的薄膜相比,以金刚石这种快声速材料为衬底的ZnO多层薄膜结构,声表面波滤波器的中心频率将提高1倍左右.
    사용등리자체보조MOCVD계통재금강석/규츤저상성공지제비료양화자다층박막재료,통과량보생장법대박막질량진행료우화.XRD측시현시우화후적양품구유c축적택우취향생장,PL보측시표명양품경우화후불부심능급발사봉소실,동시자외발사봉증강.대우화후적양품적표면측시현시출교저적표면조조도.비교양화자다층박막결구적성표면파빈산곡선,ZnO박막성표면려파기수막후화츤저재료적영향교대.당ZnO박막교박시,재타상면적전파속도장여츤저상적전파속도접근,여기타츤저상생장적박막상비,이금강석저충쾌성속재료위츤저적ZnO다층박막결구,성표면파려파기적중심빈솔장제고1배좌우.
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