光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
10期
1925-1929
,共5页
朱香平%赵宝升%刘永安%缪震华%张兴华%邹玮
硃香平%趙寶升%劉永安%繆震華%張興華%鄒瑋
주향평%조보승%류영안%무진화%장흥화%추위
探测器%紫外探测%30.4nm极紫外%单光子计数成像%微通道板%楔条形阳极探测器
探測器%紫外探測%30.4nm極紫外%單光子計數成像%微通道闆%楔條形暘極探測器
탐측기%자외탐측%30.4nm겁자외%단광자계수성상%미통도판%설조형양겁탐측기
报导了最新研制的30.4 nm极紫外成像探测器的实验研究结果.该探测器采用了楔条形阳极(WSA)、高增益v型级联微通道板组件、低噪声电子读出系统等先进技术,利用单光子计数成像技术在实验审成功获得了模拟图像.搭建了相应的实验系统,对探测器成像的线性度、空间分辨率、暗计数等性能进行了实验研究.结果表明,该探测器具有φ45 nm的有效面积,空间分辨率优于100μm,暗计数率低[0.4 count/(cm2·s]、成像线性度好、结构简单等优点.
報導瞭最新研製的30.4 nm極紫外成像探測器的實驗研究結果.該探測器採用瞭楔條形暘極(WSA)、高增益v型級聯微通道闆組件、低譟聲電子讀齣繫統等先進技術,利用單光子計數成像技術在實驗審成功穫得瞭模擬圖像.搭建瞭相應的實驗繫統,對探測器成像的線性度、空間分辨率、暗計數等性能進行瞭實驗研究.結果錶明,該探測器具有φ45 nm的有效麵積,空間分辨率優于100μm,暗計數率低[0.4 count/(cm2·s]、成像線性度好、結構簡單等優點.
보도료최신연제적30.4 nm겁자외성상탐측기적실험연구결과.해탐측기채용료설조형양겁(WSA)、고증익v형급련미통도판조건、저조성전자독출계통등선진기술,이용단광자계수성상기술재실험심성공획득료모의도상.탑건료상응적실험계통,대탐측기성상적선성도、공간분변솔、암계수등성능진행료실험연구.결과표명,해탐측기구유φ45 nm적유효면적,공간분변솔우우100μm,암계수솔저[0.4 count/(cm2·s]、성상선성도호、결구간단등우점.
