稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
12期
1849-1853
,共5页
GaN基量子点%自组装%S-K模式%MOCVD
GaN基量子點%自組裝%S-K模式%MOCVD
GaN기양자점%자조장%S-K모식%MOCVD
GaN基相关材料的量子点生长是半导体材料研究的一个热点,尤其是用MOCVD方法生长GaN基自组装量子点占了相当的比例,因此相关的文献较多,但综述性文章却不多见.鉴于此,本文综述了用MOCVD法制备GaN基量子点的不同实验方法,并对影响量子点生长的实验条件和参数做了简要的分析.希望能够对相关的实验研究工作提供一些参考.
GaN基相關材料的量子點生長是半導體材料研究的一箇熱點,尤其是用MOCVD方法生長GaN基自組裝量子點佔瞭相噹的比例,因此相關的文獻較多,但綜述性文章卻不多見.鑒于此,本文綜述瞭用MOCVD法製備GaN基量子點的不同實驗方法,併對影響量子點生長的實驗條件和參數做瞭簡要的分析.希望能夠對相關的實驗研究工作提供一些參攷.
GaN기상관재료적양자점생장시반도체재료연구적일개열점,우기시용MOCVD방법생장GaN기자조장양자점점료상당적비례,인차상관적문헌교다,단종술성문장각불다견.감우차,본문종술료용MOCVD법제비GaN기양자점적불동실험방법,병대영향양자점생장적실험조건화삼수주료간요적분석.희망능구대상관적실험연구공작제공일사삼고.