微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
1期
39-42
,共4页
杨修文%祝生祥%王安福%江锐
楊脩文%祝生祥%王安福%江銳
양수문%축생상%왕안복%강예
光纤探针%扫描隧道显微镜%隧道电流
光纖探針%掃描隧道顯微鏡%隧道電流
광섬탐침%소묘수도현미경%수도전류
以普通石英光纤为材料,运用腐蚀-熔拉-腐蚀复合的方法制备出光纤探针;而后在针尖侧面镀上一层数十纳米厚的金属膜,实现导电性与导光性,使其能传导隧道电流和探测近场光,并在实际测量中取得了理想的测试结果.
以普通石英光纖為材料,運用腐蝕-鎔拉-腐蝕複閤的方法製備齣光纖探針;而後在針尖側麵鍍上一層數十納米厚的金屬膜,實現導電性與導光性,使其能傳導隧道電流和探測近場光,併在實際測量中取得瞭理想的測試結果.
이보통석영광섬위재료,운용부식-용랍-부식복합적방법제비출광섬탐침;이후재침첨측면도상일층수십납미후적금속막,실현도전성여도광성,사기능전도수도전류화탐측근장광,병재실제측량중취득료이상적측시결과.
