真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
3期
264-268
,共5页
陈文兴%杜莉娟%姚玉元%吕慎水
陳文興%杜莉娟%姚玉元%呂慎水
진문흥%두리연%요옥원%려신수
直流磁控溅射%原子力显微镜%表面电阻%电磁屏蔽性能
直流磁控濺射%原子力顯微鏡%錶麵電阻%電磁屏蔽性能
직류자공천사%원자력현미경%표면전조%전자병폐성능
本文采用直流磁控溅射在无纺布基底上溅射沉积金属铜来制备电磁屏蔽织物.通过原子力显微镜观察发现,工艺参数对溅射沉积速率以及膜层的表面形貌都有较大的影响.在一定范围内,溅射功率越大,沉积速率越大,膜层颗粒分布越均匀致密.溅射压力一般选取0.9 Pa左右为宜,在此压力下,溅射沉积速率最大.经测试膜层与基底结合牢度较好,溅射沉积铜后透气性变化较小.频谱分析仪测试结果表明织物的屏蔽性能十分优良.
本文採用直流磁控濺射在無紡佈基底上濺射沉積金屬銅來製備電磁屏蔽織物.通過原子力顯微鏡觀察髮現,工藝參數對濺射沉積速率以及膜層的錶麵形貌都有較大的影響.在一定範圍內,濺射功率越大,沉積速率越大,膜層顆粒分佈越均勻緻密.濺射壓力一般選取0.9 Pa左右為宜,在此壓力下,濺射沉積速率最大.經測試膜層與基底結閤牢度較好,濺射沉積銅後透氣性變化較小.頻譜分析儀測試結果錶明織物的屏蔽性能十分優良.
본문채용직류자공천사재무방포기저상천사침적금속동래제비전자병폐직물.통과원자력현미경관찰발현,공예삼수대천사침적속솔이급막층적표면형모도유교대적영향.재일정범위내,천사공솔월대,침적속솔월대,막층과립분포월균균치밀.천사압력일반선취0.9 Pa좌우위의,재차압력하,천사침적속솔최대.경측시막층여기저결합뇌도교호,천사침적동후투기성변화교소.빈보분석의측시결과표명직물적병폐성능십분우량.
