传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
6期
803-807
,共5页
胡长德%赵美蓉%李咏强%高娟%朱砂
鬍長德%趙美蓉%李詠彊%高娟%硃砂
호장덕%조미용%리영강%고연%주사
纳米定位%尺蠖运动%压电陶瓷%最小步距%大范围
納米定位%呎蠖運動%壓電陶瓷%最小步距%大範圍
납미정위%척확운동%압전도자%최소보거%대범위
介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级级平台式步距压电微动台.在结构设计方面.夹紧器和驱动器都采用压电陶瓷对称结构,配合夹紧器的夹紧、放松.驱动器伸长或缩短,实现推一拉接力运动,保证微动台运动的平稳性和连续性;采用平台式结构.增强了其实用性.驱动控制方面.配以适当的四路驱动信号.实现了压电微动台的单步、多步连续匀速运动.通过试验对微动台的性能进行了测试,结果表明:微动台的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为200V可达13.9μm/s,最小步距小于10 nm,行程大于20 mm.
介紹瞭一種基于呎蠖運動原理的大行程納米級級平檯式步距壓電微動檯.在結構設計方麵.夾緊器和驅動器都採用壓電陶瓷對稱結構,配閤夾緊器的夾緊、放鬆.驅動器伸長或縮短,實現推一拉接力運動,保證微動檯運動的平穩性和連續性;採用平檯式結構.增彊瞭其實用性.驅動控製方麵.配以適噹的四路驅動信號.實現瞭壓電微動檯的單步、多步連續勻速運動.通過試驗對微動檯的性能進行瞭測試,結果錶明:微動檯的運動位移是線性的,運動速度在驅動電壓為200V可達13.9μm/s,最小步距小于10 nm,行程大于20 mm.
개소료일충기우척확운동원리적대행정납미급급평태식보거압전미동태.재결구설계방면.협긴기화구동기도채용압전도자대칭결구,배합협긴기적협긴、방송.구동기신장혹축단,실현추일랍접력운동,보증미동태운동적평은성화련속성;채용평태식결구.증강료기실용성.구동공제방면.배이괄당적사로구동신호.실현료압전미동태적단보、다보련속균속운동.통과시험대미동태적성능진행료측시,결과표명:미동태적운동위이시선성적,운동속도재구동전압위200V가체13.9μm/s,최소보거소우10 nm,행정대우20 mm.
