吉林师范大学学报(自然科学版)
吉林師範大學學報(自然科學版)
길림사범대학학보(자연과학판)
SONGLIAO JOURNAL(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
1期
20-22
,共3页
射频磁控溅射%ZnO薄膜%B-N共掺
射頻磁控濺射%ZnO薄膜%B-N共摻
사빈자공천사%ZnO박막%B-N공참
利用射频磁控溅射技术用N2和O2作为溅射气体在石英沉底上制备了B-N共掺的p型ZnO薄膜.Hall测量结果表明,室温电阻率、载流子浓度、迁移率分别为2.3 Ωcm,1.2×1017 cm-3,11 cm2/Vs.制备了ZnO基同质p-n结,研究了它们的I-V特性.探讨了B-N 共掺的p型ZnO薄膜低温光致发光的微观机制.同时阐明了B-N 共掺的p型ZnO薄膜的导电机制.
利用射頻磁控濺射技術用N2和O2作為濺射氣體在石英沉底上製備瞭B-N共摻的p型ZnO薄膜.Hall測量結果錶明,室溫電阻率、載流子濃度、遷移率分彆為2.3 Ωcm,1.2×1017 cm-3,11 cm2/Vs.製備瞭ZnO基同質p-n結,研究瞭它們的I-V特性.探討瞭B-N 共摻的p型ZnO薄膜低溫光緻髮光的微觀機製.同時闡明瞭B-N 共摻的p型ZnO薄膜的導電機製.
이용사빈자공천사기술용N2화O2작위천사기체재석영침저상제비료B-N공참적p형ZnO박막.Hall측량결과표명,실온전조솔、재류자농도、천이솔분별위2.3 Ωcm,1.2×1017 cm-3,11 cm2/Vs.제비료ZnO기동질p-n결,연구료타문적I-V특성.탐토료B-N 공참적p형ZnO박막저온광치발광적미관궤제.동시천명료B-N 공참적p형ZnO박막적도전궤제.
