CAJ | 학술논문

从静电悬浮的机理出发,文章研究了静电悬浮样品三维稳定约束控制的实现方法.通过设计弧形电极,可产生二维横向势阱,实现在水平方向上对样品的稳定约束,对样品的反馈控制只需加载在竖直方向.采用模糊控制PID原理,推导出了PID控制下悬浮样品的动力学方程及其解.通过数值模拟,详细讨论了PID参数设定对被控样品物理量的影响,包括PID参数分别对梯度电场、样品到预设平衡位置的调节及调节速率的影响.最后,给出这种控制方式下实现快速调节的最佳参数值.
종정전현부적궤리출발,문장연구료정전현부양품삼유은정약속공제적실현방법.통과설계호형전겁,가산생이유횡향세정,실현재수평방향상대양품적은정약속,대양품적반궤공제지수가재재수직방향.채용모호공제PID원리,추도출료PID공제하현부양품적동역학방정급기해.통과수치모의,상세토론료PID삼수설정대피공양품물리량적영향,포괄PID삼수분별대제도전장、양품도예설평형위치적조절급조절속솔적영향.최후,급출저충공제방식하실현쾌속조절적최가삼수치.