导航与控制
導航與控製
도항여공제
NAVIGATION AND CONTROL
2010年
2期
72-79
,共8页
万蔡辛%李丹东%张承亮%陈效真
萬蔡辛%李丹東%張承亮%陳效真
만채신%리단동%장승량%진효진
微机械%惯性传感器%加速度计%谐振
微機械%慣性傳感器%加速度計%諧振
미궤계%관성전감기%가속도계%해진
硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究.本文对硅微谐振式微加速度计的发展现状进行了评述.根据国内外不同的技术实现,诸如工作原理、微加工工艺实现、应用范围等对其进行了分类阐述.最后,对硅微谐振式加速度计研究中一些关键技术进行了讨论,并提出了展望.
硅微諧振式微加速度計是各種MEMS加速度計中被普遍看好併期待為將來的高精度微加速度計髮展的一箇重要方嚮,正在全世界範圍內被廣汎研究.本文對硅微諧振式微加速度計的髮展現狀進行瞭評述.根據國內外不同的技術實現,諸如工作原理、微加工工藝實現、應用範圍等對其進行瞭分類闡述.最後,對硅微諧振式加速度計研究中一些關鍵技術進行瞭討論,併提齣瞭展望.
규미해진식미가속도계시각충MEMS가속도계중피보편간호병기대위장래적고정도미가속도계발전적일개중요방향,정재전세계범위내피엄범연구.본문대규미해진식미가속도계적발전현상진행료평술.근거국내외불동적기술실현,제여공작원리、미가공공예실현、응용범위등대기진행료분류천술.최후,대규미해진식가속도계연구중일사관건기술진행료토론,병제출료전망.
