CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究
CO2격광등리자체겁자외광원수집경연구
Research of collector mirrors of CO2 laser produced plasma EUV source
  • 万方数据
    激光技术 격광기술
    LASER TECHNOLOGY
    2010年 6期 725-728 ,共4页

    朱新旺%王新兵%傅焰峰%卢彦兆%石玉华

    주신왕%왕신병%부염봉%로언조%석옥화

    激光技术%X射线光学%极紫外光源%激光等离子体%收集镜%ZEMAX 激光技術%X射線光學%極紫外光源%激光等離子體%收集鏡%ZEMAX
    격광기술%X사선광학%겁자외광원%격광등리자체%수집경%ZEMAX
    为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况.结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小.
    위료연구겁자외광원계통중수집경적형상화액체미적적표이,계산료수집경적삼량,병채용ZEMAX모의료액체미적상하화좌우표이50μm,100μm,150μm시중간초점적성상변화정황.결과표명,액체미적재상하방향상적표이대중간초점성상적영향흔대,응해진량장상하표이공제재20μm이하;이액적재광축방향상적표이대중간초점성상적영향초소.
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