稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
10期
1752-1756
,共5页
熊江涛%李京龙%魏艳妮%张赋升%孙兵兵%黄卫东
熊江濤%李京龍%魏豔妮%張賦升%孫兵兵%黃衛東
웅강도%리경룡%위염니%장부승%손병병%황위동
单晶硅:连接%热力学
單晶硅:連接%熱力學
단정규:련접%열역학
采用共晶连接与表面预共晶法连接相比较的方法,对单晶硅连接进行了实验研究和理论分析.结果表明,在保温30 min的条件下,共晶连接与表面预共晶法实现可靠连接的最低温度分别为600与430℃.热力学分析表明,共晶连接过程中,连接界面区域Au、Si向Au或Si基过饱和固溶体转变是共晶液相形成的主要阻力；表面预共晶法连接前,单晶硅待连接面上预制了Au-Si共晶熔敷层,且熔敷层内及其与单晶硅界面区域存在因Au、Si相分离不完全而产生的过饱和固溶体,因此,连接过程中Au-Si的二次共晶液化不存在上述阻力,且获得了过饱和固溶体向共晶液相转变时体系吉布斯自由能减小的动力,所以,二次共晶液相更易产生,连接温度有效降低.
採用共晶連接與錶麵預共晶法連接相比較的方法,對單晶硅連接進行瞭實驗研究和理論分析.結果錶明,在保溫30 min的條件下,共晶連接與錶麵預共晶法實現可靠連接的最低溫度分彆為600與430℃.熱力學分析錶明,共晶連接過程中,連接界麵區域Au、Si嚮Au或Si基過飽和固溶體轉變是共晶液相形成的主要阻力；錶麵預共晶法連接前,單晶硅待連接麵上預製瞭Au-Si共晶鎔敷層,且鎔敷層內及其與單晶硅界麵區域存在因Au、Si相分離不完全而產生的過飽和固溶體,因此,連接過程中Au-Si的二次共晶液化不存在上述阻力,且穫得瞭過飽和固溶體嚮共晶液相轉變時體繫吉佈斯自由能減小的動力,所以,二次共晶液相更易產生,連接溫度有效降低.
채용공정련접여표면예공정법련접상비교적방법,대단정규련접진행료실험연구화이론분석.결과표명,재보온30 min적조건하,공정련접여표면예공정법실현가고련접적최저온도분별위600여430℃.열역학분석표명,공정련접과정중,련접계면구역Au、Si향Au혹Si기과포화고용체전변시공정액상형성적주요조력；표면예공정법련접전,단정규대련접면상예제료Au-Si공정용부층,차용부층내급기여단정규계면구역존재인Au、Si상분리불완전이산생적과포화고용체,인차,련접과정중Au-Si적이차공정액화불존재상술조력,차획득료과포화고용체향공정액상전변시체계길포사자유능감소적동력,소이,이차공정액상경역산생,련접온도유효강저.
