微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
189-191
,共3页
SnO2膜%溅射功率%基片温度
SnO2膜%濺射功率%基片溫度
SnO2막%천사공솔%기편온도
SnO2是最早使用也是目前使用最广泛的一种气敏材料,使用该材料设计制作的气敏传感器具有许多优点.在简要介绍溅射镀膜的成膜过程和特点的基础上,着重介绍了SnO2膜的制备流程,分析了功率和温度变化对成膜质量的影响.
SnO2是最早使用也是目前使用最廣汎的一種氣敏材料,使用該材料設計製作的氣敏傳感器具有許多優點.在簡要介紹濺射鍍膜的成膜過程和特點的基礎上,著重介紹瞭SnO2膜的製備流程,分析瞭功率和溫度變化對成膜質量的影響.
SnO2시최조사용야시목전사용최엄범적일충기민재료,사용해재료설계제작적기민전감기구유허다우점.재간요개소천사도막적성막과정화특점적기출상,착중개소료SnO2막적제비류정,분석료공솔화온도변화대성막질량적영향.
