感光科学与光化学
感光科學與光化學
감광과학여광화학
PHOTOGRAPHIC SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2004年
1期
33-43
,共11页
高英新%包永忠%黄志明%翁志学
高英新%包永忠%黃誌明%翁誌學
고영신%포영충%황지명%옹지학
酚醛树脂%重氮萘醌%正性抗蚀剂%溶解抑制
酚醛樹脂%重氮萘醌%正性抗蝕劑%溶解抑製
분철수지%중담내곤%정성항식제%용해억제
本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;(2)偶联反应机理;(3)两步即静态、动态溶解抑制机理;(4)表面沉积溶解抑制机理;(5)酚醛树脂的分子溶解及相关的抑制机理.
本文綜述瞭酚醛-重氮萘醌正性抗蝕劑的溶解抑製機理,主要包括(1)分子間氫鍵作用機理;(2)偶聯反應機理;(3)兩步即靜態、動態溶解抑製機理;(4)錶麵沉積溶解抑製機理;(5)酚醛樹脂的分子溶解及相關的抑製機理.
본문종술료분철-중담내곤정성항식제적용해억제궤리,주요포괄(1)분자간경건작용궤리;(2)우련반응궤리;(3)량보즉정태、동태용해억제궤리;(4)표면침적용해억제궤리;(5)분철수지적분자용해급상관적억제궤리.
