山西师范大学学报（自然科学版）
山西師範大學學報（自然科學版）
산서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANXI TEACHER'S UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
1期
77-79
,共3页
FePt/Ag双层膜%溅射参数%正交实验
FePt/Ag雙層膜%濺射參數%正交實驗
FePt/Ag쌍층막%천사삼수%정교실험
采用有交互作用的正交实验方法对磁控溅射法在玻璃基片上制备FePt/Ag纳米双层膜Ag底层的溅射参数进行研究.通过直观分析,方差分析和XRD图分析,可以选出Ag底层诱导FePt层取向生长的最佳溅射条件,为FePt磁性层性能的进一步研究应用奠定了基础.
採用有交互作用的正交實驗方法對磁控濺射法在玻璃基片上製備FePt/Ag納米雙層膜Ag底層的濺射參數進行研究.通過直觀分析,方差分析和XRD圖分析,可以選齣Ag底層誘導FePt層取嚮生長的最佳濺射條件,為FePt磁性層性能的進一步研究應用奠定瞭基礎.
채용유교호작용적정교실험방법대자공천사법재파리기편상제비FePt/Ag납미쌍층막Ag저층적천사삼수진행연구.통과직관분석,방차분석화XRD도분석,가이선출Ag저층유도FePt층취향생장적최가천사조건,위FePt자성층성능적진일보연구응용전정료기출.
