低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2007年
1期
51-52,55
,共3页
刘希%康琳%孙静%赵少奇%昌路%吉争鸣%吴培亨
劉希%康琳%孫靜%趙少奇%昌路%吉爭鳴%吳培亨
류희%강림%손정%조소기%창로%길쟁명%오배형
超导隧道结%NbN%AlN%磁控溅射
超導隧道結%NbN%AlN%磁控濺射
초도수도결%NbN%AlN%자공천사
研究了在MgO基片上制备NbN/AlN/NbN结的工艺,NbN和AlN的制备分别采用直流磁控溅射和交流磁控溅射.为了得到良好特性的隧道结,首先要在高真空反应室里沉积三层膜结构,经过光刻和反应离子刻蚀,得到底电极和桥区的三层结构图形.再经过第二步光刻和刻蚀,仅保留底电极最下层的NbN,得到结区的三层结构图形,并覆盖AlN绝缘层.经过Lift-off工艺,洗去结区上的光刻胶,最后沉积上电极.使用四端子方法对制备的隧道结进行了一系列测量,特别是在高频(THz)下的响应.
研究瞭在MgO基片上製備NbN/AlN/NbN結的工藝,NbN和AlN的製備分彆採用直流磁控濺射和交流磁控濺射.為瞭得到良好特性的隧道結,首先要在高真空反應室裏沉積三層膜結構,經過光刻和反應離子刻蝕,得到底電極和橋區的三層結構圖形.再經過第二步光刻和刻蝕,僅保留底電極最下層的NbN,得到結區的三層結構圖形,併覆蓋AlN絕緣層.經過Lift-off工藝,洗去結區上的光刻膠,最後沉積上電極.使用四耑子方法對製備的隧道結進行瞭一繫列測量,特彆是在高頻(THz)下的響應.
연구료재MgO기편상제비NbN/AlN/NbN결적공예,NbN화AlN적제비분별채용직류자공천사화교류자공천사.위료득도량호특성적수도결,수선요재고진공반응실리침적삼층막결구,경과광각화반응리자각식,득도저전겁화교구적삼층결구도형.재경과제이보광각화각식,부보류저전겁최하층적NbN,득도결구적삼층결구도형,병복개AlN절연층.경과Lift-off공예,세거결구상적광각효,최후침적상전겁.사용사단자방법대제비적수도결진행료일계렬측량,특별시재고빈(THz)하적향응.
