微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2008年
1期
44-49
,共6页
高端硅基材料%绝缘体上硅%绝缘体上应变硅%绝缘体上锗
高耑硅基材料%絕緣體上硅%絕緣體上應變硅%絕緣體上鍺
고단규기재료%절연체상규%절연체상응변규%절연체상타
绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料.详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用,以及近年来为满足SOI的特殊应用要求研发的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI),绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的现状和发展动向;最后,对SOI技术的发展前景进行了展望.
絕緣體上硅(SOI)是納米技術時代的高耑硅基材料.詳細介紹瞭SOI在半導體技術領域中的應用,以及近年來為滿足SOI的特殊應用要求研髮的多種SOI新材料及其製備技術;綜述瞭絕緣體上應變硅(sSOI),絕緣體上鍺(GOI)等SOI技術的現狀和髮展動嚮;最後,對SOI技術的髮展前景進行瞭展望.
절연체상규(SOI)시납미기술시대적고단규기재료.상세개소료SOI재반도체기술영역중적응용,이급근년래위만족SOI적특수응용요구연발적다충SOI신재료급기제비기술;종술료절연체상응변규(sSOI),절연체상타(GOI)등SOI기술적현상화발전동향;최후,대SOI기술적발전전경진행료전망.
