物理学报
物理學報
물이학보
2008年
4期
2340-2346
,共7页
王佩怡%杨春%李来才%李言荣
王珮怡%楊春%李來纔%李言榮
왕패이%양춘%리래재%리언영
SrTiO3薄膜%反应机理%活化能
SrTiO3薄膜%反應機理%活化能
SrTiO3박막%반응궤리%활화능
在激光分子束外延(LMBE)生长SrTiO3(STO)薄膜过程中,激光闪蒸出的Sr,Ti,O原子的微观反应过程及粒子形态是STO薄膜生长初期形成的关键.采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP水平上研究了Sr,Ti,O原子在真空中的优先反应过程和形态,计算研究了SrO,TiO2和STO分子形成的反应机理,获得了相应的中间体和过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了STO分子的形成机理.对比计算了STO分子可能的几何构型,得到了比较稳定的构型,其几何特征与STO单胞部分相似.计算研究表明,SrO,TiO2,STO分子是LMBE外延生长STO薄膜初期的主要粒子形态.
在激光分子束外延(LMBE)生長SrTiO3(STO)薄膜過程中,激光閃蒸齣的Sr,Ti,O原子的微觀反應過程及粒子形態是STO薄膜生長初期形成的關鍵.採用密度汎函理論中的廣義梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP水平上研究瞭Sr,Ti,O原子在真空中的優先反應過程和形態,計算研究瞭SrO,TiO2和STO分子形成的反應機理,穫得瞭相應的中間體和過渡態及反應活化能,併運用前線軌道理論分析瞭STO分子的形成機理.對比計算瞭STO分子可能的幾何構型,得到瞭比較穩定的構型,其幾何特徵與STO單胞部分相似.計算研究錶明,SrO,TiO2,STO分子是LMBE外延生長STO薄膜初期的主要粒子形態.
재격광분자속외연(LMBE)생장SrTiO3(STO)박막과정중,격광섬증출적Sr,Ti,O원자적미관반응과정급입자형태시STO박막생장초기형성적관건.채용밀도범함이론중적엄의제도근사(DFT/GGA)방법,재PW91/DNP수평상연구료Sr,Ti,O원자재진공중적우선반응과정화형태,계산연구료SrO,TiO2화STO분자형성적반응궤리,획득료상응적중간체화과도태급반응활화능,병운용전선궤도이론분석료STO분자적형성궤리.대비계산료STO분자가능적궤하구형,득도료비교은정적구형,기궤하특정여STO단포부분상사.계산연구표명,SrO,TiO2,STO분자시LMBE외연생장STO박막초기적주요입자형태.
