CAJ | 학술논문

为了研究超短脉冲激光辐照下半导体材料的热力效应,在热电子崩力和自洽场两种模型的基础上,得到了完全耦合的非线性热弹方程组.在单轴应力条件下,采用有限差分法,讨论了不同脉宽的超短脉冲激光辐照下,硅膜内栽流子温度、晶格温度、热应力以及热电子崩力随时间及膜深度的变化情况.结果表明,脉冲宽度对硅膜的热力损伤过程起重要作用.能量密度一定时,载流子和晶格达到热平衡所需时间随脉冲宽度的增加而增加;热电子崩力呈现明显的双峰结构,同时脉冲宽度对第二个峰值的影响较大;脉宽越窄,热应力的峰值越大,越容易对材料造成损伤,为激光加工和光电器件的损伤提供了理论参考.
위료연구초단맥충격광복조하반도체재료적열력효응,재열전자붕력화자흡장량충모형적기출상,득도료완전우합적비선성열탄방정조.재단축응력조건하,채용유한차분법,토론료불동맥관적초단맥충격광복조하,규막내재류자온도、정격온도、열응력이급열전자붕력수시간급막심도적변화정황.결과표명,맥충관도대규막적열력손상과정기중요작용.능량밀도일정시,재류자화정격체도열평형소수시간수맥충관도적증가이증가;열전자붕력정현명현적쌍봉결구,동시맥충관도대제이개봉치적영향교대;맥관월착,열응력적봉치월대,월용역대재료조성손상,위격광가공화광전기건적손상제공료이론삼고.