电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2004年
2期
1-5
,共5页
电化学%微细加工%LIGA%电化学隧道扫描显微镜%超短电压脉冲
電化學%微細加工%LIGA%電化學隧道掃描顯微鏡%超短電壓脈遲
전화학%미세가공%LIGA%전화학수도소묘현미경%초단전압맥충
结合国内外微细电化学加工技术的最新进展,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜(electrochemical STM)的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等.微细电化学在未来的微纳加工中必将大有作为.
結閤國內外微細電化學加工技術的最新進展,繫統地綜述瞭微細電化學加工在多箇方麵的研究情況和工藝特點,例如LIGA工藝、用電化學隧道顯微鏡(electrochemical STM)的針尖進行納米級呎吋的電化學加工、用超短脈寬脈遲電壓微細電化學加工等.微細電化學在未來的微納加工中必將大有作為.
결합국내외미세전화학가공기술적최신진전,계통지종술료미세전화학가공재다개방면적연구정황화공예특점,례여LIGA공예、용전화학수도현미경(electrochemical STM)적침첨진행납미급척촌적전화학가공、용초단맥관맥충전압미세전화학가공등.미세전화학재미래적미납가공중필장대유작위.
