光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
3期
477-480
,共4页
张大伟%洪瑞金%范树海%王英剑%邵建达%范正修
張大偉%洪瑞金%範樹海%王英劍%邵建達%範正脩
장대위%홍서금%범수해%왕영검%소건체%범정수
离子辅助%离子束流密度%热尖峰%晶相
離子輔助%離子束流密度%熱尖峰%晶相
리자보조%리자속류밀도%열첨봉%정상
测量了End-Hall离子源在不同条件下的离子束流密度,在不同离子束流密度下进行了Ar离子辅助沉积ZrO2薄膜的实验,研究了离子束流密度对薄膜折射率、晶相的影响.根据动量传递模型分析了离子束流密度对薄膜折射率的作用;根据热尖峰理论证明了一定条件下离子束流密度不会影响薄膜晶体结构.
測量瞭End-Hall離子源在不同條件下的離子束流密度,在不同離子束流密度下進行瞭Ar離子輔助沉積ZrO2薄膜的實驗,研究瞭離子束流密度對薄膜摺射率、晶相的影響.根據動量傳遞模型分析瞭離子束流密度對薄膜摺射率的作用;根據熱尖峰理論證明瞭一定條件下離子束流密度不會影響薄膜晶體結構.
측량료End-Hall리자원재불동조건하적리자속류밀도,재불동리자속류밀도하진행료Ar리자보조침적ZrO2박막적실험,연구료리자속류밀도대박막절사솔、정상적영향.근거동량전체모형분석료리자속류밀도대박막절사솔적작용;근거열첨봉이론증명료일정조건하리자속류밀도불회영향박막정체결구.
