机械与电子
機械與電子
궤계여전자
MACHINERY & ELECTRONICS
2005年
3期
10-13
,共4页
余才佳%霍鹏飞%马炳和%苑伟政%姜澄宇
餘纔佳%霍鵬飛%馬炳和%苑偉政%薑澄宇
여재가%곽붕비%마병화%원위정%강징우
微机电系统%微机械陀螺%多端口组件网络%硬件描述语言
微機電繫統%微機械陀螺%多耑口組件網絡%硬件描述語言
미궤전계통%미궤계타라%다단구조건망락%경건묘술어언
采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸.结果表明,该方法可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响.
採用多耑口組件網絡方法對振子框架式微機械陀螺(CGMG)進行設計,分析瞭主要結構呎吋對其固有頻率的影響.根據陀螺驅動模態頻率和檢測模態的頻率匹配,優化瞭陀螺的結構呎吋.結果錶明,該方法可以實現MEMS整體行為的快速倣真,併能分析跼部呎吋參數對繫統性能的影響.
채용다단구조건망락방법대진자광가식미궤계타라(CGMG)진행설계,분석료주요결구척촌대기고유빈솔적영향.근거타라구동모태빈솔화검측모태적빈솔필배,우화료타라적결구척촌.결과표명,해방법가이실현MEMS정체행위적쾌속방진,병능분석국부척촌삼수대계통성능적영향.
