铜陵学院学报
銅陵學院學報
동릉학원학보
JOURNAL OF TONGLING COLLEGE
2005年
4期
78-80
,共3页
SPC技术%参数采集%控制图
SPC技術%參數採集%控製圖
SPC기술%삼수채집%공제도
在晶圆制造的氧化扩散阶段,主要使用立式炉管来制备氧化物,本文简要说明了机台参数的采集过程,着重结合SPC技术分析了机台过程参数的控制流程和控制图的判读方法,并对采用该技术后的效益和应该注意的问题作了说明.
在晶圓製造的氧化擴散階段,主要使用立式爐管來製備氧化物,本文簡要說明瞭機檯參數的採集過程,著重結閤SPC技術分析瞭機檯過程參數的控製流程和控製圖的判讀方法,併對採用該技術後的效益和應該註意的問題作瞭說明.
재정원제조적양화확산계단,주요사용입식로관래제비양화물,본문간요설명료궤태삼수적채집과정,착중결합SPC기술분석료궤태과정삼수적공제류정화공제도적판독방법,병대채용해기술후적효익화응해주의적문제작료설명.
