传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1610-1612
,共3页
孙远程%杨波%彭勃%赵龙%张茜梅
孫遠程%楊波%彭勃%趙龍%張茜梅
손원정%양파%팽발%조룡%장천매
高冲击%微机械传感器%失效模式
高遲擊%微機械傳感器%失效模式
고충격%미궤계전감기%실효모식
在微机械高冲击传感器的测试过程中发现一种传感器芯片的严重失效问题.文中采用薄板弯曲的简化模型对该失效问题进行了初步研究.分析认为该失效是由于高冲击引起封装壳体变形使管芯承受放大了的应力,过大的应力导致芯片某些部位应力超过断裂强度而损坏.改进措施主要是通过完善壳体设计,合理增加厚度或减小壳体尺寸使壳体形变减小,从而减小由此给芯片带来的应力.
在微機械高遲擊傳感器的測試過程中髮現一種傳感器芯片的嚴重失效問題.文中採用薄闆彎麯的簡化模型對該失效問題進行瞭初步研究.分析認為該失效是由于高遲擊引起封裝殼體變形使管芯承受放大瞭的應力,過大的應力導緻芯片某些部位應力超過斷裂彊度而損壞.改進措施主要是通過完善殼體設計,閤理增加厚度或減小殼體呎吋使殼體形變減小,從而減小由此給芯片帶來的應力.
재미궤계고충격전감기적측시과정중발현일충전감기심편적엄중실효문제.문중채용박판만곡적간화모형대해실효문제진행료초보연구.분석인위해실효시유우고충격인기봉장각체변형사관심승수방대료적응력,과대적응력도치심편모사부위응력초과단렬강도이손배.개진조시주요시통과완선각체설계,합리증가후도혹감소각체척촌사각체형변감소,종이감소유차급심편대래적응력.
