辽宁工程技术大学学报（自然科学版）
遼寧工程技術大學學報（自然科學版）
료녕공정기술대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING TECHNICAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
4期
584-587
,共4页
段永利%许生%巴德纯%范垂祯
段永利%許生%巴德純%範垂禎
단영리%허생%파덕순%범수정
TiO2薄膜%中频%亲水性%PEM%反应溅射%退火
TiO2薄膜%中頻%親水性%PEM%反應濺射%退火
TiO2박막%중빈%친수성%PEM%반응천사%퇴화
采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使薄膜获得理想的化学配比和较高的沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Monitor,PEM)对溅射过程进行控制.对部分样品进行了退火处理.利用台阶仪测膜厚,X 射线衍射(XRD)对薄膜的沉积速率及结构进行测试分析,并对部分沉积态和经过热处理的薄膜样品进行了透光性测试和光照实验.研究了温度,PEM工作点等不同工艺条件对薄膜光致亲水性等性能的影响.部分薄膜经过 1h 左右的紫外光照射,得到了很好的亲水性效果,其表面的水接触角达到了小于1°的水平.
採用中頻反應磁控濺射方法在玻璃錶麵製備瞭TiO2薄膜,為使薄膜穫得理想的化學配比和較高的沉積速率,使用瞭等離子體髮射光譜鑑控法(Plasma Emission Monitor,PEM)對濺射過程進行控製.對部分樣品進行瞭退火處理.利用檯階儀測膜厚,X 射線衍射(XRD)對薄膜的沉積速率及結構進行測試分析,併對部分沉積態和經過熱處理的薄膜樣品進行瞭透光性測試和光照實驗.研究瞭溫度,PEM工作點等不同工藝條件對薄膜光緻親水性等性能的影響.部分薄膜經過 1h 左右的紫外光照射,得到瞭很好的親水性效果,其錶麵的水接觸角達到瞭小于1°的水平.
채용중빈반응자공천사방법재파리표면제비료TiO2박막,위사박막획득이상적화학배비화교고적침적속솔,사용료등리자체발사광보감공법(Plasma Emission Monitor,PEM)대천사과정진행공제.대부분양품진행료퇴화처리.이용태계의측막후,X 사선연사(XRD)대박막적침적속솔급결구진행측시분석,병대부분침적태화경과열처리적박막양품진행료투광성측시화광조실험.연구료온도,PEM공작점등불동공예조건대박막광치친수성등성능적영향.부분박막경과 1h 좌우적자외광조사,득도료흔호적친수성효과,기표면적수접촉각체도료소우1°적수평.
