微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
3期
1-5,64
,共6页
宋会英%张玉林%于肇贤%郝慧娟
宋會英%張玉林%于肇賢%郝慧娟
송회영%장옥림%우조현%학혜연
邻近效应校正%局部曝光窗口%全局曝光窗口%关键点
鄰近效應校正%跼部曝光窗口%全跼曝光窗口%關鍵點
린근효응교정%국부폭광창구%전국폭광창구%관건점
提出了实现电子束光刻的快速邻近效应校正的分级模型.首先利用矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换,然后对内部最大矩形和顶点矩形进行校正迭代.在校正迭代的过程中,用局部曝光窗口与曝光强度分布函数直接卷积计算邻近图形对关键点产生的有效曝光剂量,将整个曝光块近似为一个大像点,以计算全局曝光窗口中的曝光图形对关键点产生的有效曝光剂量,实现了快速图形尺寸校正.在与同类软件精度相同的情况下,提高了运算速度.
提齣瞭實現電子束光刻的快速鄰近效應校正的分級模型.首先利用矩陣實現內部最大矩形和頂點矩形的快速替換,然後對內部最大矩形和頂點矩形進行校正迭代.在校正迭代的過程中,用跼部曝光窗口與曝光彊度分佈函數直接捲積計算鄰近圖形對關鍵點產生的有效曝光劑量,將整箇曝光塊近似為一箇大像點,以計算全跼曝光窗口中的曝光圖形對關鍵點產生的有效曝光劑量,實現瞭快速圖形呎吋校正.在與同類軟件精度相同的情況下,提高瞭運算速度.
제출료실현전자속광각적쾌속린근효응교정적분급모형.수선이용구진실현내부최대구형화정점구형적쾌속체환,연후대내부최대구형화정점구형진행교정질대.재교정질대적과정중,용국부폭광창구여폭광강도분포함수직접권적계산린근도형대관건점산생적유효폭광제량,장정개폭광괴근사위일개대상점,이계산전국폭광창구중적폭광도형대관건점산생적유효폭광제량,실현료쾌속도형척촌교정.재여동류연건정도상동적정황하,제고료운산속도.
