金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2008年
2期
1-4
,共4页
满卫东%孙蕾%吴宇琼%谢鹏%余学超%汪建华
滿衛東%孫蕾%吳宇瓊%謝鵬%餘學超%汪建華
만위동%손뢰%오우경%사붕%여학초%왕건화
微波等离子体%化学气相沉积%金刚石膜%散热片%LED
微波等離子體%化學氣相沉積%金剛石膜%散熱片%LED
미파등리자체%화학기상침적%금강석막%산열편%LED
由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料.本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测.结果表明:在硅衬底上沉积20-30μm的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度(甲烷浓度4%)比提高薄膜的质量(甲烷浓度2%)更有利于提高LED的散热效果.本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料.
由于金剛石具有室溫下最高的熱導率,因此用化學氣相沉積(CVD)製備的金剛石膜是大功率髮光二極管(LED)理想的散熱材料.本文利用微波等離子體CVD研究瞭不同沉積工藝下金剛石薄膜的生長.用掃描電子顯微鏡(SEM)和拉曼光譜對得到的金剛石薄膜進行瞭錶徵,併將金剛石薄膜用作LED散熱片的散熱效果進行瞭檢測.結果錶明:在硅襯底上沉積20-30μm的CVD金剛石薄膜可以有效地降低LED的工作溫度;在相同的製備成本下,提高薄膜的厚度(甲烷濃度4%)比提高薄膜的質量(甲烷濃度2%)更有利于提高LED的散熱效果.本研究錶明微波等離子體CVD製備的金剛石薄膜是大功率LED的理想散熱襯底材料.
유우금강석구유실온하최고적열도솔,인차용화학기상침적(CVD)제비적금강석막시대공솔발광이겁관(LED)이상적산열재료.본문이용미파등리자체CVD연구료불동침적공예하금강석박막적생장.용소묘전자현미경(SEM)화랍만광보대득도적금강석박막진행료표정,병장금강석박막용작LED산열편적산열효과진행료검측.결과표명:재규츤저상침적20-30μm적CVD금강석박막가이유효지강저LED적공작온도;재상동적제비성본하,제고박막적후도(갑완농도4%)비제고박막적질량(갑완농도2%)경유리우제고LED적산열효과.본연구표명미파등리자체CVD제비적금강석박막시대공솔LED적이상산열츤저재료.
