辽宁科技大学学报
遼寧科技大學學報
료녕과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY LIAONING
2009年
2期
122-125
,共4页
太阳能电池%磁控溅射%Mo薄膜
太暘能電池%磁控濺射%Mo薄膜
태양능전지%자공천사%Mo박막
利用磁控溅射法在玻璃基片上进行了太阳能电池预镀层Mo薄膜的制备,研究了氩气分压、溅射功率、溅射时间等工艺条件对Mo膜性能及厚度的影响,并对Mo膜的物理性能及电学性能进行了研究.结果表明,Mo薄膜的厚度与溅射时间近似的成正比关系,Mo膜的电阻率先降低,并在膜厚为0.3 μm处达到最低,而后电阻率逐渐增加.
利用磁控濺射法在玻璃基片上進行瞭太暘能電池預鍍層Mo薄膜的製備,研究瞭氬氣分壓、濺射功率、濺射時間等工藝條件對Mo膜性能及厚度的影響,併對Mo膜的物理性能及電學性能進行瞭研究.結果錶明,Mo薄膜的厚度與濺射時間近似的成正比關繫,Mo膜的電阻率先降低,併在膜厚為0.3 μm處達到最低,而後電阻率逐漸增加.
이용자공천사법재파리기편상진행료태양능전지예도층Mo박막적제비,연구료아기분압、천사공솔、천사시간등공예조건대Mo막성능급후도적영향,병대Mo막적물이성능급전학성능진행료연구.결과표명,Mo박막적후도여천사시간근사적성정비관계,Mo막적전조솔선강저,병재막후위0.3 μm처체도최저,이후전조솔축점증가.
